IGS标准通气基座
IGS标准通气基座采用模块化设计，具备符合SEMI标准的可靠的密封与耐腐蚀能力。用户根据不同的气体配置需求，可构建紧凑的并方便安装维护的气体传输系统结构。
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产品特点
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质量管理
产品特点
工作条件
可耐工作压力 7500PSI；工作温度 -10 ～200℃
氦测外漏率 ≤ 1×10-10Pa.m3/sec
技术特征
纯度 SEMI F20 UHP材料，316L （ VIM+VAR ）或316L （VAR）
产品流道经过EP、钝化工艺处理，内表面粗糙度Ra＜0.1μm，流道内表面铬铁比符合SEMI F19标准，满足超高纯气体传输系统要求
质量管理
